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牛津电子束镀膜机技术规格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋转：0~10rpm；
- 电子束源：Telemark电子束源，单袋或多袋电子束源可选；
- 热蒸发源：多配置2套热蒸发舟(选配)；
- 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；
- 泵：前级干泵，分子泵；
- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；
- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；
更多详情请咨询：http://www.shqiruikeji.com/SonList-2201899.html
https://www.chem17.com/st453789/erlist_2201899.html
原文链接：http://www.56zbw.cn/caigou/show-81060.html，转载和复制请保留此链接。
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