查找文献发现，当吸附柱长期处于饱和状态下工作时，会使吸附柱的吸附能力降低，致使HCl对活性碳中的一些有害杂质，如磷、硼、碳等元素析出，并通过氢气一并带入还原生产系统中。同时通过生产数据分析证明，活性炭吸附塔的负荷较小，处理量在满负荷的百分之八十以下时，氢气处理量与多晶硅产品中的杂质含量是没有相关性的；当活性炭吸附塔处理量过大，影响再生效果时，氢气处理量与多晶硅产品中的杂质呈现明显相关性。进一步证明活性炭吸附塔有吸附氢气中杂质的能力，超负荷运行直接影响多晶硅产品质量。
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